​蔡司三次元测量仪的基本操作步骤如下：
规划检测方案：仔细查看零件图纸，明确测量要求和方法，如确定需要检测的顶点、测量元素以及大致的先后顺序等，规划好检测方案或调出已有的检测程序。
安装探针及附件：按照测量方案安装探针及探针附件，安装过程中需按下 “紧急停” 按钮，并注意轻拿轻放，用力适当。更换后试运行，检查测头保护功能是否正常。
安装并固定零件：在吊装放置被测零件时，严格遵守吊车安全操作规程，防止损坏测量机和零件。将零件安放在方便检测、阿贝误差最小的位置并固定牢固。
建立零件坐标系：
找正：利用产品的平面、圆柱等特征建立产品的 Z（或 X 或 Y）轴与程序坐标系里的 Z（或 X 或 Y）轴相一致，例如用平面的法线、圆柱的中心线来确定 Z 轴。
旋转：在确定一轴的情况下，通过相关操作确定第二轴，进而确定第三轴，使坐标系完全固定。
平移：在特征列表中选择作为零点的特征，将坐标系的零点平移到该特征上。
测量：
程序初始化：指定文件名、存储器置零、对不同于缺省条件的某些条件给出有关选择指令。
测头管理和零件管理：进行测头定义或再校正、数控机床厂临时零点定义、数学找正、建立永久原点等操作。
测量循环：包括定位，使测头在进入下一采样点前先进入定位点；采样处理，给出如采样点数、孔的轴线理论坐标及直径等参数的指令；测量值处理。首次运行程序时要注意减速运行，确定编程无误后再使用正常速度。
存档：检测完成后，将测量程序和程序运行参数及测头配置等说明存档。
清洁与保养：拆卸（更换）零件，清洁台面，做好机器使用后的清理和后期保养工作。
关闭设备：Z 轴移至原来位置后锁定，X、Y 轴各移至中央，锁定，关闭电源及压力阀，取下测头。