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三丰三次元轮廓仪有哪几种不同测量方式?

文章出处:公司动态 责任编辑:东莞市精丰测量仪器有限公司 发表时间:2025-07-11
  ​三丰三次元轮廓仪(3D 轮廓仪)是一种高精度测量仪器,主要用于检测物体表面的微观和宏观轮廓形态、粗糙度、台阶高度、曲率等三维几何参数,广泛应用于精密制造、半导体、光学、汽车零部件等领域。其核心原理是通过光学或接触式传感器扫描样品表面,将采集到的二维数据重构为三维形貌,从而实现对表面特征的定量分析。
三丰三次元轮廓仪
根据测量方式的不同,常见类型包括:
1. 光学非接触式轮廓仪
利用光的反射、干涉或聚焦特性实现测量,无需接触样品,适合柔软、易损或高精度表面(如半导体晶圆、光学镜片)。
白光干涉轮廓仪:通过白光干涉条纹分析表面高度,精度可达纳米级,测量范围较大(微米到毫米级)。
激光共聚焦轮廓仪:激光聚焦于样品表面,通过扫描收集反射光强度,生成三维图像,适合高分辨率测量(亚微米级)。
聚焦探测轮廓仪:通过检测光斑聚焦位置变化计算高度,速度快,适合生产线在线检测。
2. 接触式轮廓仪
依靠探针(如金刚石针尖)与样品表面接触,通过机械扫描记录针尖位移,精度可达纳米级,但可能划伤样品,适合硬质、耐磨表面(如金属零件、模具)。
优势:不受表面光学特性影响(如深色、粗糙表面)。
劣势:测量速度较慢,对软质材料不友好。
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